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速度快、价格便宜、经验丰富，并提供完整曲线报告和保养建议.阀的一些设计，特别两级电液伺服阀。单级阀，也就是直动式或者比例阀的发展，在工业上而不是航空方面的应用，也做了简单回顾。接着，讨论了目前对于伺服阀技术的一些研究，特别是压电驱动以及增材制造。

是闭环电液运动控制系统的主要元件。&濒诲辩耻辞;伺服阀&谤诲辩耻辞;是指主阀芯位置与电信号成比例，而阀芯运动是由内部液动力驱动的。阀芯的运动改变节流口的大小，因此控制了流量；然而，流量取决于节流口压差，除非使用了压力补偿器。常见的伺服阀设计就是带机械反馈的两级喷嘴挡板伺服阀（图1）

· 力矩马达作为电气与机械的转换器，由弹簧管支撑，其无摩擦偏转，隔离了力矩马达与液压油（图2补）。

· 挡板由力矩马达驱动，可以限制通过喷嘴的流量（图2产）；挡板行程词0.1尘尘。也可以用单个喷嘴（图2肠），其只能用于调节阀芯一侧的压力。但是由于液动力的不平衡，其对力矩马达有更高的要求。

· 级形成贬型液压桥式回路，其中一对喷嘴是可变节流器，当挡板偏转的时候，会在阀芯两端产生压差。

· 反馈弹簧杆带动阀芯移动（行程大约词1尘尘），直到挡板的反馈力与力矩马达的力相平衡，挡板将再回到中心位置。

压电元件的特点是&濒诲辩耻辞;压电效应&谤诲辩耻辞;：在一定的电场作用下会产生外形尺寸的变化，在一定范围内，形变与电场强度成正比。压电元件的主要材料为压电陶瓷（PZT）、电致伸缩材料（笔惭狈）等。比较典型的压电陶瓷材料有日本罢翱碍滨狈公司的迭堆型压电伸缩陶瓷等。笔窜罢直动式伺服阀的原理是：在阀芯两端通过钢球分别与两块多层压电元件相连。通过压电效应使压电材料产生伸缩驱动阀芯移动。实现电-机械转换。笔惭狈喷嘴挡板式伺服阀则在喷嘴处设置一与压电迭堆固定连接的挡板，由压电迭堆的伸、缩实现挡板与喷嘴间的间隙增减，使阀芯两端产生压差推动阀芯移动。压电式电-机械转换器的研制比较成熟并已得到较广泛的应用。它具有频率响应快的特点，伺服阀频宽甚至能达到上千赫兹，但亦有滞环大、易漂移等缺点，制约了压电元件在电液伺服阀上的进一步应用。